愛德華半導(dǎo)體干泵EPX180L系列維修銷售

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新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運(yùn)行成本更低。EPX180 使用了獨(dú)特的專利保護(hù)機(jī)械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5?Torr 的極限壓力。

模塊化 EPX180 基于備受贊譽(yù)、大獲成功的 IPX 系列，可提供卓越的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX系列主要特性和優(yōu)勢(shì)
1.占地面積小且重量輕 – 作為可用的 最小工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了 占地面積。鋁制構(gòu)造使其重量輕巧，增加了安裝 選項(xiàng)。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級(jí)管道和 安裝成本，如果需要也可遠(yuǎn)程使用。
2.受專利保護(hù)的獨(dú)特泵機(jī)構(gòu) – EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級(jí)基準(zhǔn)壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
3.超清潔機(jī)構(gòu) – 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤(rùn)滑，這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承油脂，并且不存在 任何其他的潛在污染源。
4.非?？煽?– EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年維修一次，最大程度地延長(zhǎng)了泵的 使用壽命。
5.運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內(nèi)實(shí)現(xiàn)低噪聲。

EPX 系列支持清潔和輕 型半導(dǎo)體加工應(yīng)用，如灰化/剝離和注入端點(diǎn) 站應(yīng)用。
EPX 系列以極輕、極小的 封裝提供工具上泵送功能，可實(shí)現(xiàn)異常清潔的真空。EPX 泵 采用已獲專利的獨(dú)特單軸再生 Holweck? 分級(jí)機(jī)構(gòu)， 能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr 的極限壓力。
EPX 泵能夠以模塊化組件 提供增強(qiáng)的性能，既可集成到制程工具，又可以遠(yuǎn)程 安裝。此外，通過集成的 MicroTIM 電子模塊還可以與制程工具 輕松建立通信連接。

EPX180L/EPX180LE技術(shù)參數(shù)：

EPX180L訂貨號(hào)：
EPX180L 干泵 400V，3/8 水接頭
A41941014
EPX180L 干泵 208V C3 TIM 9/16 水接頭
A41941132
EPX180L 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A41941212
EPX180L 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
A41941222
EPX180L 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
A41941312
EPX180L 干泵 400V E73 TIM 3/8 水接頭
A41941314
EPX180L 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A41941412
EPX180L 干泵 400V LAM TIM 3/8 水接頭
A41941514
EPX180L 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A41941712
EPX180L 干式泵 200V
A41941002
EPX180L 干式泵 200V，3/8 水接頭
A41941012
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41941112
EPX180L 干式泵 400V 1/4 水接頭
A41941024
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41941142
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41941152
EPX180L 干式泵 400V SPI TIM 3/8 水接頭
A41941214

EPX180LE系列訂貨號(hào)：

EPX180LE 干泵 208V 無 TIM 3/8 水接頭
A4194301
EPX180LE 干泵 400V 無 TIM 3/8 水接頭
A41943014
EPX180LE 干泵 208V 無 TIM 1/4 水接頭
A41943022
EPX180LE 干泵 400V 無 TIM 1/4 水接頭
A41943024
EPX180LE 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41943112
EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A41943212
EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
A41943222
EPX180LE 干泵 400V SPI TIM 1/4 水接頭
A41943224
EPX180LE 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A41943412
EPX180LE 干泵 208V Hitachi TIM 3/8 水接頭
A41943612
EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A41943712
EPX180LE 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
A41943714
EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 1/4 水接頭
A41943722

EPX180“N”系列包括一個(gè)可提供氮清洗的氣體模塊，從而可將應(yīng)用范圍擴(kuò)大為中等制程，在這類制程中預(yù)期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。
訂貨號(hào)：
EPX180N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41942112
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A41942212
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
A41942222
EPX180N 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
A41942312
EPX180N 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A41942412
EPX180N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
A41942414
EPX180N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A41942712
EPX180N 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
A41942714
EPX180N 干式泵 400V，3/8 水接頭
A41942014

愛德華真空泵由于產(chǎn)品的多樣化，所以每一個(gè)型號(hào)都有著很大的系列，不同的系列應(yīng)用在不同的行業(yè)有著非常明顯的效果，因此，在購買愛德華真空泵產(chǎn)品是需要謹(jǐn)慎選項(xiàng)，歡迎有任何愛德華真空泵需求的客戶來電咨詢。